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納米曝氣設(shè)備的主要特點(diǎn)


發(fā)布時間:

2023-07-04

  納米曝氣設(shè)備又稱納米曝光設(shè)備,主要特點(diǎn):  一、尺寸小、操作方便?! 〔僮髅姘逍∏?,操作簡單。通過整機(jī)集成化,體積小巧,便于移動?! 《?、清潔度高?! ≌麢C(jī)清潔度≥100000.能有效除去微塵顆粒,做到空氣清潔?! ∪?、能量范圍廣?! 蝹€光束波長范圍為193~400nm之間,覆蓋UV光、可見光和近紅外光三個能量范圍?! ∷?、散佈均勻?! 〔捎媒惶骈W光方式,照射能量分布在不同點(diǎn),覆蓋區(qū)域面積更大,做到散佈均勻?! ∥?、精度高、線寬窄?! ≌丈渚€寬可達(dá)到40微米以下,照射的精度在2微米量級?! ×?、功能齊全?! ∨涮锥〞r器、震動模塊、自動搬移模塊等,納米曝光的各種要求?! ∑摺⑿矢??! ±瞄]環(huán)準(zhǔn)直系統(tǒng),實(shí)時校正照射位置和姿態(tài),提高曝光效率?! “?、快速響應(yīng)。  響應(yīng)速度短,照射和移動速度快?! 【?、壽命長?! 〔捎酶咂焚|(zhì)零件和組件,結(jié)構(gòu)設(shè)計精密,使用壽命長。  綜上,作為一種高精度的

  納米曝氣設(shè)備又稱納米曝光設(shè)備,主要特點(diǎn):

  一、尺寸小、操作方便。

  操作面板小巧,操作簡單。通過整機(jī)集成化,體積小巧,便于移動。

  二、清潔度高。

  整機(jī)清潔度≥100000.能有效除去微塵顆粒,做到空氣清潔。

  三、能量范圍廣。

  單個光束波長范圍為193~400nm之間,覆蓋UV光、可見光和近紅外光三個能量范圍。

  四、散佈均勻。

  采用交替閃光方式,照射能量分布在不同點(diǎn),覆蓋區(qū)域面積更大,做到散佈均勻。

  五、精度高、線寬窄。

  照射線寬可達(dá)到40微米以下,照射的精度在2微米量級。

  六、功能齊全。

  配套定時器、震動模塊、自動搬移模塊等,納米曝光的各種要求。

  七、效率高。

  利用閉環(huán)準(zhǔn)直系統(tǒng),實(shí)時校正照射位置和姿態(tài),提高曝光效率。

  八、快速響應(yīng)。

  響應(yīng)速度短,照射和移動速度快。

  九、壽命長。

  采用高品質(zhì)零件和組件,結(jié)構(gòu)設(shè)計精密,使用壽命長。

  綜上,作為一種高精度的納米工藝裝備,納米曝氣設(shè)備廣泛應(yīng)用于電子元器件制造、光學(xué)元件制造、生物醫(yī)用器械制造等領(lǐng)域的納米工藝工序。其高清潔、高精度、高效率的特點(diǎn),使其有望逐步替代傳統(tǒng)的光刻曝光設(shè)備,在光刻領(lǐng)域開啟一個新紀(jì)元。


關(guān)鍵字:沼氣濕法脫硫,河道治理菌劑,工業(yè)廢水處理,